Ֆոտոռեզիստի ակնարկ
Ֆոտոռեզիստը, որը հայտնի է նաև որպես ֆոտոռեզիստ, վերաբերում է բարակ թաղանթային նյութի, որի լուծելիությունը փոխվում է ուլտրամանուշակագույն լույսի, էլեկտրոնային ճառագայթների, իոնային ճառագայթների, ռենտգենյան ճառագայթների կամ այլ ճառագայթման ազդեցության տակ։
Այն կազմված է խեժից, ֆոտոնախաձեռնիչից, լուծիչից, մոնոմերից և այլ հավելանյութերից (տե՛ս աղյուսակ 1): Ֆոտոռեզիստային խեժը և ֆոտոնախաձեռնիչը ֆոտոռեզիստի աշխատանքի վրա ազդող ամենակարևոր բաղադրիչներն են: Այն օգտագործվում է որպես հակակոռոզիոն ծածկույթ ֆոտոլիտոգրաֆիայի գործընթացում:
Կիսահաղորդչային մակերեսներ մշակելիս, համապատասխան ընտրողական լուսառեզիստի օգտագործումը կարող է ստեղծել ցանկալի պատկերը մակերեսի վրա։
Աղյուսակ 1։
| Ֆոտոռեզիստ բաղադրիչներ | Արդյունավետություն |
| Լուծիչ | Այն ֆոտոռեզիստը դարձնում է հեղուկ և ցնդող և գրեթե ոչ մի ազդեցություն չունի ֆոտոռեզիստի քիմիական հատկությունների վրա։ |
| Ֆոտոսկիզատոր | Այն հայտնի է նաև որպես լուսազգայունացնող կամ լուսամշակող նյութ, լուսակայուն նյութի լուսազգայուն բաղադրիչ է: Այն միացության տեսակ է, որը կարող է քայքայվել ազատ ռադիկալների կամ կատիոնների և սկսել քիմիական խաչաձև կապի ռեակցիաներ մոնոմերներում՝ որոշակի ալիքի երկարության ուլտրամանուշակագույն կամ տեսանելի լույսի էներգիա կլանելուց հետո: |
| Խեժ | Այն իներտ պոլիմերներ է և գործում է որպես կապող նյութեր՝ ֆոտոռեզիստի տարբեր նյութերը միասին պահելու համար, ինչը ֆոտոռեզիստին հաղորդում է մեխանիկական և քիմիական հատկություններ։ |
| Մոնոմեր | Այն նաև հայտնի է որպես ակտիվ լուծիչներ, փոքր մոլեկուլներ են, որոնք պարունակում են պոլիմերացվող ֆունկցիոնալ խմբեր և ցածր մոլեկուլային քաշի միացություններ են, որոնք կարող են մասնակցել պոլիմերացման ռեակցիաներին՝ ձևավորելով բարձր մոլեկուլային քաշի խեժեր։ |
| Հավելում | Այն օգտագործվում է ֆոտոռեզիստների քիմիական հատկությունները վերահսկելու համար։ |
Ֆոտոռեզիստները դասակարգվում են երկու հիմնական կատեգորիայի՝ կախված ստացված պատկերից՝ դրական և բացասական: Ֆոտոռեզիստի գործընթացի ընթացքում, էքսպոզիցիայի և մշակման արդյունքում, ծածկույթի բաց հատվածները լուծվում են, թողնելով չէքսպոզիցիայի ենթարկված հատվածները: Այս ծածկույթը համարվում է դրական ֆոտոռեզիստ: Եթե բաց հատվածները մնում են, մինչդեռ չէքսպոզիցիայի ենթարկված հատվածները լուծվում են, ծածկույթը համարվում է բացասական ֆոտոռեզիստ: Կախված էքսպոզիցիայի լույսի աղբյուրից և ճառագայթման աղբյուրից, ֆոտոռեզիստները դասակարգվում են որպես ուլտրամանուշակագույն (ներառյալ դրական և բացասական ուլտրամանուշակագույն ֆոտոռեզիստներ), խորը ուլտրամանուշակագույն (DUV) ֆոտոռեզիստներ, ռենտգենյան ֆոտոռեզիստներ, էլեկտրոնային ճառագայթային ֆոտոռեզիստներ և իոնային ճառագայթային ֆոտոռեզիստներ:
Ֆոտոռեզիստը հիմնականում օգտագործվում է ցուցադրման վահանակներում, ինտեգրալ սխեմաներում և դիսկրետ կիսահաղորդչային սարքերում նուրբ հատիկավոր նախշերի մշակման մեջ: Ֆոտոռեզիստի արտադրության տեխնոլոգիան բարդ է՝ արտադրանքի տեսակների և բնութագրերի լայն տեսականիով: Էլեկտրոնիկայի արդյունաբերության ինտեգրալ սխեմաների արտադրությունը խիստ պահանջներ է ներկայացնում օգտագործվող ֆոտոռեզիստի համար:
Էվեր Ռեյը, որը 20 տարվա փորձ ունեցող արտադրող է, որը մասնագիտանում է լուսամշակվող խեժերի արտադրության և մշակման մեջ, հպարտանում է տարեկան 20,000 տոննա արտադրական հզորությամբ, համապարփակ ապրանքային շարքով և արտադրանքը անհատականացնելու հնարավորությամբ: Լուսամշակման մեջ Էվեր Ռեյը որպես հիմնական բաղադրիչ ունի 17501 խեժ:
